Drucksensoren
First Sensor entwickelt und fertigt Drucksensoren für kundenspezifische Anforderungen. Die Kernkompetenz von First Sensor ist die Herstellung piezoresisitver Drucksensoren bis 225°C in verschiedenen Aufbaustufen als Chips, Bauteil und Teilsystem.
Das Produktspektrum piezoresisitver Drucksensoren reicht bei First Sensor vom modularen Produkt bis zur Entwicklung und Fertigung individueller Lösungen. Als einer der führenden Hersteller piezoresisitver Drucksensoren sind wir bekannt für höchste Qualität, Performance und Langzeitstabilität unserer Sensorlösungen.
Kernkompetenzen
- umfassendes Know-how der Drucksensorik
- Design
- Chipherstellung
- Packaging
- Kalibrierung
- messtechnische Charakterisierung (Druck, Temperatur, Stabilität, elektrische Parameter) - kundenspezifische Anpassungen und individuelle Lösungen
- flexible Fertigungskapazitäten
- Projektmanagement und Logistik
Design & Konstruktion
First Sensor verfügt über umfangreiche Simulationserfahrungen
und -möglichkeiten in folgenden Bereichen:
- FEM-Analyse:
- Mechanisch
- Elektrisch
- Thermisch
- Gekoppelt
Für Design und Konstruktion werden modernste
CAD-Tools eingesetzt:
- Layout- und Konstruktionstools:
- Maskendesign
- Leiterplattendesign
- 3D-CAD
Entwicklung
- Piezoresistive Drucksensoren für Anwendungen bis 225 °C
- Drucksensorsysteme als OEM- und Systemlösungen (Signalverarbeitung/Kalibrierung, Schnittstelle und Gehäuse)
- Halbleiterprozesse
- MEMS-Prozesse und Qualifikationen
- kundenspezifische Layouts, Schaltungen, Schnittstellen
Technologien
Neben zahlreichen Standardprozessen verfügt First Senso über Know-how in:
- doppelseitiger Lithographie
- hochpräziser anisotroper Si-Strukturierung
- Sonderprozessen wie anodischer Bonden (Silizium-Glas) und Si-Direkt-Bonden (Silizium-Silizium)
- Spezialsägeprozessen
- Bestückung von PCB/Keramik (SMT, COB) in Verbindung mit Drucksensorschaltungen
- Kalibrierung (Druck, Temperatur)
Messtechnik
First Sensor verfügt über eine umfangreiche Messtechnik für folgende Einsatzzwecke:
- mechanische und geometrische Vermessung von MEMS-Strukturen
- elektrische Charakterisierung auf Waferebene und von gehäusten Sensoren
- Temperatur- und Klima-Charakterisierung
- Klimaschränke bis 180°C
- Temperaturschränke bis 550°C - Qualifikation von Sensoren
Qualitätsmanagement
Das Qualitätsmanagementsystem von First Sensor Technology GmbH ist nach IS0/TS16949:2002 zertifiziert. Diese internationale technische Spezifikation umfasst alle Anforderungen der DIN EN ISO 9001:2002.
