Messtechnik
FST verfügt über eine umfangreiche Messtechnik
für folgende Einsatzzwecke:
- Mechanische und geometrische Vermessung von
MEMS-Strukturen - Elektrische Charakterisierung auf Waferebene und
von gehäusten Sensoren - Temperatur- und Klima-Charakterisierung
- Klimaschränke bis 180°C
- Temperaturschränke bis 550°C - Qualifikation von Sensoren
